CVD系統(tǒng)管式爐

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產(chǎn)品詳情

GR.TF系列真空管式爐詳細介紹

GR.TF系列真空管式爐，具有合理的性能設(shè)計，集多項功能于一身，安全性，可靠性，實用性均達理想效果。

1、最高溫度1100℃-1800℃，加熱區(qū)為300mm。

2、爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼之間裝有風(fēng)機，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低。

3、爐管采用高純石英管或者剛玉管，兩端采用SUS304高真空法蘭密封。

4、爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的進口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成，與傳統(tǒng)硬質(zhì)爐膛材料電爐相比節(jié)能性明顯提高，具有較強的抗驟冷驟熱性，1100℃電爐爐膛由上下兩部分組成，其中上部分爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)110℃，1100℃以上電爐爐膛為一體式，方便取放實驗物料、更換爐管。加熱元件采用瑞典康泰爾電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒。

5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，儀表控制精度為±1℃，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序，具有超高溫報警功能，具有熱電偶損壞斷電功能，具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能。

6、升溫速率≤30℃/min（建議升溫速度≤10℃/min），可編寫30段自動升溫程序，可控硅控制，配備數(shù)顯LED電壓表、電流表。

7、可選配RS-485通訊接口，數(shù)據(jù)管理軟件，具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線，校正溫度偏離誤差的功能，可以管理多臺設(shè)備和遠程故障診斷分析。

8、多種安全防護設(shè)計，安全性能好，使用壽命長。

9、電爐可以抽真空、通氣氛，真空度可以達到10pa（機械泵），如果需要更高真空度可以選擇分子泵，達到6.67x10-3pa。

標準配置：

1、304不銹鋼法蘭1套

2、密封圈4只

3、爐塞 2只

4、爐勾 1把

5、說明書、保修卡、合格證 1套

6、石英管或者剛玉管 1支

高真空泵組（分子泵組）

GR-620/GR-500F型系列復(fù)合分子泵機組是由F160/620系列各性能復(fù)合分子泵或FF-160/500F系列復(fù)合分子泵，前級抽氣泵，隔斷放氣閥，前級管路，斷水保護器，分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計），控制電源等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。安裝方便，操作簡單，易于聯(lián)接，性能可靠，可廣泛用于表面分析，加速器技術(shù)，半導(dǎo)體設(shè)備，等離子體技術(shù)，電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。

FJ-620分子泵機組技術(shù)性能：

產(chǎn)品型號	GR-620
進氣口法蘭	DN160LF	DN160CF
抽氣速率L/S（對空氣）	600
壓縮比 N2 H2	＞109 6×103
建議啟動壓強	＜100 Pa
極限壓強（Pa）	6×10-6		6×10-7
排氣口法蘭	KF25/KF40
使用軸承	精密機械軸承
輸入電壓頻率（V/Hz）	220±20/50
環(huán)境溫度（℃）	0～40
前級泵型號	RVP-6
額定工作轉(zhuǎn)數(shù)（rpm）	42，300
冷卻方式	水冷
冷卻水壓力（MPa）	0.1-0.2
冷卻水溫度（℃）	<25
安裝方式	任意
重量（公斤）	52
長×寬×高	730×520×700
重量	117

供氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

· 標準量程：100sccm、200sccm、200sccm、500sccm(可以定制量程與數(shù)量）

· 質(zhì)量流量控制器：

（1）工作電壓：AC 220V/50HZ

（2）工作溫度：5-45℃

（3）工作壓強：3×106 Pa

（4）最大輸出功率：23W

（5）精度：±1.5%FS

（6）線性：±(0.5-1.5)%F.S

（7）重復(fù)精度：±0.2%F.S

（8）響應(yīng)時間：氣特性：1-4 Sec，電特性：10 Sec

（9）工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa

· PLC觸摸屏：

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在觸摸屏上，可以選配RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制

· 機械壓力表：量程范圍：-0.1-0.15MPa

· 針閥：316不銹鋼

· 管件：內(nèi)部連接管道為1/4〞聚四氟管，外部通氣管道為1/4〞聚四氟管

· 氣體混料罐：Φ80×120mm

· 截止閥：316不銹鋼針閥Φ1/4〞

· 產(chǎn)品規(guī)格： 600×745×700mm

GR.TF系列真空管式爐型號及規(guī)格

型號	爐管尺寸(mm) (DxWxH)	功率 (KW)	最高溫度 (℃)	額度溫度（℃）	加熱元件	電壓（V）
GR.TF60/11	Φ60×1000	4	1100	1000	康泰爾電阻絲	220
GR.TF80/11	Φ80×1000	4	1100	1000	康泰爾電阻絲	220
GR.TF100/11	Φ100×1000	4	1100	1000	康泰爾電阻絲	220
GR.TF150/11	Φ150×1000	5	1100	1000	康泰爾電阻絲	220
GR.TF200/11	Φ200×1000	6	1100	1000	康泰爾電阻絲	220
GR.TF60/14	Φ60×1000	6	1400	1300	硅碳棒	220
GR.TF80/14	Φ80×1000	6	1400	1300	硅碳棒	220
GR.TF100/14	Φ100×1000	7	1400	1300	硅碳棒	220
GR.TF60/16	Φ60×1000	7	1600	1500	硅鉬棒	220
GR.TF80/16	Φ80×1000	7	1600	1500	硅鉬棒	220
GR.TF100/16	Φ100×1000	7	1600	1500	硅鉬棒	220
GR.TF60/18	Φ60×1000	7	1800	1700	硅鉬棒	220
GR.TF80/18	Φ80×1000	9	1800	1700	硅鉬棒	380
GR.TF100/18	Φ100×1000	9	1800	1700	硅鉬棒	380